《采用环形岛棱结构的电容式压力传感器(英文)》PDF+DOC
作者:邹黎明,郭航
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》2009年第06期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM2009060350
DOC编号:DOCGXJM2009060359
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种提高电容式力传感器线性度的结构设计》PDF+DOC2008年第04期 陈志勇,周斌,张嵘
《气/固两相流相浓度传感器》PDF+DOC1999年第01期 金锋,许会,颜华,王师
《压力传感器的计算机辅助设计》PDF+DOC1994年第01期 萧敬勋,孙以材,杨庆新
《压阻变换压力传感器的性能预测模型(英文)》PDF+DOC2004年第02期 宋续,刘胜
《有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用》PDF+DOC2003年第04期 钟莹,李醒飞,张国雄
《非接触式压力微传感器的设计》PDF+DOC2002年第02期 褚丹雷
《拉-压力传感器线性度的有限元分析》PDF+DOC2001年第12期 赵建才,万德安,何珊,汪小军
《香梨静压接触应力测量及损伤预测》PDF+DOC2013年第06期 吴杰,李凡,葛云,胡蓉
《高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析》PDF+DOC2010年第05期 吕浩杰,胡国清,邹卫,吴灿云,陈羽锋
《低量程高精度应变式压力传感器研制》PDF+DOC2009年第04期 于炜,杨梅,湛华海
改变传感器可动极板的结构是解决MEMS电容式压力传感器信号输出与压力输入呈非线性关系问题的方法之一。设计了一种新型结构电容式压力传感器,其可动极板是LPCVD氮化硅构成的一个方形薄膜,薄膜中心到边缘之间由PECVD氧化硅构筑一个环形岛棱,使可动极板在压力负载下的变形趋于平整,减小了边缘杂散电容带来的非线性,从而改善了该传感器的输出特性。利用有限元方法分析了不同尺寸的动极板在不同外加压力作用下压力与形变的关系,以及相应的应力分布情况,并采用最小二乘拟合直线法计算了压力传感器的线性度。分析结果表明,与常规的双极板微型电容式压力传感器相比,新型结构压力传感器的线性度改善了48 .38 %,达到了1 .6 %。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。