作者：张玲,赵玉龙,蒋庄德,田边 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009S10560 DOC编号：DOCYBJS2009S10569 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种压阻式加速度计的新结构模型，采用梁膜结合结构方式，提高了低量程微硅压阻式加速度计的固有频率，减小了挠度对加速度计输出线性度的影响。通过有限元ANSYS仿真软件对结构模型进行静态和模态分析，发现在相同的负载条件下，新结构与传统结构相比，其固有频率平均提高了39%，挠度平均下降了39%，并对影响灵敏度、固有频率等主要指标的因素讨论分析，确定传感器的电阻分布和结构参数，对其结构进行优化。最后设计了版图及一套可行的工艺流程，采用各向异性化学腐蚀技术在单晶硅上制作压阻式加速度计，并与玻璃衬底阳极键合，从而提高加速度计的可靠性。该加速度计具有小尺寸、高频响、高精度的优点。

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