作者：吕家云,张健,蒋全胜,许磊 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009080040 DOC编号：DOCYBJS2009080049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于QCM的气体传感器具有灵敏度高、结构简单等优点，是有潜力的气体传感器。但是，存在着选择性差的问题，而工作过程环境气体因素，如水蒸汽、有机挥发性气体(VOCs)等的影响，是必须解决的问题。首先，以石英晶体微天平传感器(QCM)为测试平台，研究以纳米ZnO作为敏感膜的湿度检测敏感特性。实验结果表明：纳米氧化锌作为敏感膜，在一定的湿度范围内有很高的灵敏度和重复性。其次，用六甲基二硅胺烷(Hexamethyl disilazane，HMDS)对纳米ZnO膜进行处理时发现，与未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比较，该纳米ZnO对湿度的响应敏感度明显降低，特别是在高湿度时。进一步的研究发现，用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体，如乙醇仍有很好的响应。该种特性可以被用来开发对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。

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