作者:宫铭举,何庆,汤亮,马军,乔东海,邓越,王孟姣 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2009年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2009050190 DOC编号:DOCYDSG2009050199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 在硅微电容式传声器相关理论及前人对方形膜的研究的基础上,提出了一种用于测试低频信号的电容式高灵敏度圆形硅微振动膜传声器。模拟仿真和结构参数优化,为实践提供了理论依据。在此基础上,探索性的研制了圆形振动膜半径为40mm,气隙厚度为50μm的低频传声器,实验表明,该传声器具有较高的灵敏度,当偏置电压为6V、100Hz时,灵敏度高达-25dB,在通频带(20~800Hz)局部平坦。

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