作者：焦永昌,廖小平,张俊 单位：东南大学 出版：《东南大学学报(自然科学版)》2009年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDNDX2009010290 DOC编号：DOCDNDX2009010299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了基于MEMS技术，由功分器、45&#176；移相器和MEMS电容式微波功率传感器组成差分式微波信号相位检测器，实现了在被测信号幅度未知条件下全周期的相位测量.利用HFSS对各组件进行了模拟设计，包括功分器的模拟与设计和MEMS电容式微波功率传感器的模拟与设计，特别采用GaAs MMIC工艺制作了其中的MEMS电容式微波功率传感器，在8~12GHz的频率范围内，回波损耗小于-20dB，插入损耗小于0.2dB.最后利用ADS对整个系统进行了模拟，模拟结果与理论计算结果的误差在3.5%以内，并进行了误差分析。

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