作者:温银萍,温廷敦 单位:航天科技集团公司九院七七一所 出版:《微电子学与计算机》2009年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWXYJ2009030080 DOC编号:DOCWXYJ2009030089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《C型压力传感器的设计》PDF+DOC1995年第01期 牛德芳 《硅微型加速度传感器技术》PDF+DOC2007年第03期 吴瑞,温廷敦 《MEMS加速度传感器的原理及分析》PDF+DOC2003年第06期 张海涛,阎贵平 《压阻式振动传感器非线性研究及其改进措施》PDF+DOC2011年第03期 董利凯,孙光岩,刘其中 《基于共振隧穿的位移传感器设计》PDF+DOC2009年第02期 张庆伟,温廷敦 《综合环境可靠性试验中加速度传感器灵敏度的修正》PDF+DOC2007年第02期 陈永祥,朱曦全 《基于介观压阻效应的硅微加速度计研究》PDF+DOC2007年第08期 吴瑞,温廷敦 《介观压阻效应在硅微加速度计中的应用》PDF+DOC2007年第29期 王辉,吴瑞,温廷敦 《压阻式微加速度计的结构优化设计》PDF+DOC2007年第32期 李丽华,郭涛,熊继军,徐栋 《新型巨磁阻抗传感器的特性研究》PDF+DOC2007年第03期 张清,李欣,王清江,李小平,赵振杰
  • 提出以介观压阻效应为工作原理制作高灵敏度压阻式硅锗加速度计,采用Si1-xGex/Si结构薄膜作为敏感元件,设计了一个双悬臂梁式的压阻式硅锗加速度计.通过理论分析与仿真计算,得出通过调整对该结构的外加应力可以实现对传感器灵敏度的调节,而且利用介观压阻效应原理可以将压阻式硅微加速度计的灵敏度提高一个数量级的结论.为设计新型压阻式硅微加速度计提供了一种思路。

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