《光刻机箱体内部温度控制系统的硬件设计》PDF+DOC
作者:冯艳
单位:冶金自动化研究院
出版:《工业计量》2009年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGYJL2009030080
DOC编号:DOCGYJL2009030089
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文章介绍了利用PLC实现的光刻机内部温度控制系统的一个硬件设计方案。实验证明,本方案具有设计合理、性能稳定可靠、易于推广等特点。
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