作者：刘俊,张琼,石云波,刘晓鹏,朱政强 单位：中北大学 出版：《中北大学学报(自然科学版)》2009年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGG2009020180 DOC编号：DOCHBGG2009020189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对微卫星所用高灵敏、低量程陀螺的需求，提出了一种高精度低量程隧道式陀螺仪的新结构，对隧道陀螺的基本组成部件进行了详细的分析，并介绍了其工作原理.设计了隧道陀螺仪的隧道电流测试方案，采用HP 4156C高精度半导体参数测试仪对传感器的隧道电流效应进行了测试，并对隧道电流效应进行了理论分析，在此理论分析的基础上对测试数据进行了归纳与分析，得到器件势垒高度的值分别为0.518 eV，0.555 eV.验证结果表明：本结构隧道电流效应明显，器件有较高的灵敏度。

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