作者:王涛,王晓东,王立鼎 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2009年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2009060040 DOC编号:DOCCGJS2009060049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对压电材料在逆压电效应下具有极快响应速度的特点,研究并测试了压电陶瓷在阶跃激励下阶跃响应时间及其输出特性,利用其响应时间短输出带宽大的特性,研究了压电陶瓷作为激励源在微结构动态测试上的应用,并建立了压电陶瓷底座激励装置,成功测试了几种MEMS微结构的谐振频率;利用其在极短响应时间内输出大加速度的特点,研究了压电陶瓷在大量程加速度传感器灵敏度测试上的应用,结果显示压电陶瓷瞬时输出最大加速度达上万gn。

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