作者：李建新 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2009年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2009040160 DOC编号：DOCBDTJ2009040169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了哈特曼物镜自动测量的系统结构，包括哈特曼球差测量的光学系统、面阵CCD图像采集系统和光栅位移测量系统。深入讨论了数字图像处理、测量与识别的软件设计方案，进行实验与误差分析。关于数字图像处理、测量与识别的软件设计的讨论，有许多独到之处。解决了系统设计所遇到的关键技术，解决如何在一维图像存储器中准确地寻找二维图像目标，找到了目标之后如何进行有关的目标计算，提高了求解的可计算性。

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