作者:张云电,韩俊慧,陈炎,余芳 单位:浙江省机电集团有限公司;浙江大学 出版:《机电工程》2009年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJDGC2009010240 DOC编号:DOCJDGC2009010249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 超声加工是硅镜加工的有效加工方法,但是硅镜在加工中易出现裂纹和破碎。研究表明,工具对硅镜表面施加的压力不稳定是其中的一个重要原因。为了控制工具对硅镜表面施加压力的稳定性,采用压力传感器对硅镜表面施加的压力进行实时检测,并反馈给控制元件,一旦所检测到的压力超过所设定的额定压力值,控制元件就向执行元件发出执行指令,从而达到控制工具的目的。试验表明,该压力检测与控制系统可以有效地保证对硅镜表面所施加压力的稳定性,从而减少了硅镜在加工过程中出现破裂的情况。

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