作者:晏祖根,孙立宁 单位:哈尔滨工业大学 出版:《哈尔滨工业大学学报》2009年第12期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHEBX2009120650 DOC编号:DOCHEBX2009120659 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对二维直线运动平台末端出现偏摆误差、降低平台直线运动精度的现象,研制了一种新型的基于偏摆误差实时补偿的高速精密定位平台.基于电容式微位移传感检测技术,建立了新型精密定位平台的偏摆误差检测模型.采用赫兹接触理论,建立了滚珠导轨副的刚度模型,进而建立了基于滚珠丝杠驱动、直线滚珠导轨副支撑的宏动工作台的偏摆振动模型.实验结果验证了宏动工作台偏摆振动模型的有效性;采用微动工作台进行宏动工作台直线运动偏摆误差的实时补偿,新型精密定位平台的性能得到较大改善。

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