《微型氢气传感器的结构设计与仿真分析》PDF+DOC
作者:徐仁庆,殷晨波,何茂先
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2008年第11期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2008110300
DOC编号:DOCCGQJ2008110309
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基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理,提出了一种微型氢气传感器结构设计。针对几个主要设计参数,利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析。通过分析和比较,完成了对微型氢气传感器结构的优化设计,并对优化后的传感器进行了瞬态分析。分析结果表明:所设计的传感器结构符合设计要求。
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