作者:徐仁庆,殷晨波,何茂先 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2008年第11期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2008110300 DOC编号:DOCCGQJ2008110309 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于金属氧化物半导体气体传感器的工作机理,提出了一种微型氢气传感器结构设计。针对几个主要设计参数,利用有限元分析软件ANSYS对这种结构进行了热分析。通过分析和比较,完成了对微型氢气传感器结构的优化设计,并对优化后的传感器进行了瞬态分析。分析结果表明:所设计的传感器结构符合设计要求。

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