《三维电场传感器仿真优化及性能测试》PDF+DOC
作者:郑凤杰,夏善红,陈贤祥
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2008年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2008060090
DOC编号:DOCCGJS2008060099
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采用有限元方法对一种新型三维电场传感器的敏感结构进行仿真分析,优化结构设计参数,提高传感器的测量灵敏度;对采用优化参数制备的电场传感器进行了性能测试,结果表明,该传感器的输出与模拟仿真结果具有良好的一致性,并且与外部电场呈良好的线性关系,传感器的测量灵敏度可达到50V/m。
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