作者：黄晓东,王斌,秦明,黄庆安 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040120 DOC编号：DOCCGJS2008040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种新型电容式压力传感器。在外加压力下，该传感器的极板面积、间距以及介质层介电常数均发生改变，并导致电容发生变化。同时介绍了接口电路的设计，该电路基于电容-频率转换原理。该传感器结构简单，实现了与CMOS接口电路集成。传感器采用标准CMOS工艺与后处理工艺相结合的方式制造。结果表明，在800hPa到1100hPa的压力范围，传感器灵敏度约为44fF/hPa，接口电路的分辨率为3.77Hz/hPa。

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