作者：李世维,王群书,古仁红,刘君华 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2008年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2008040430 DOC编号：DOCYQXB2008040439 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理，主要技术指标和敏感元件的结构特点，讨论了几种用于制作高g值微加速度传感器的新型材料和工艺。最后总结了高g值微机械加速度传感器未来的发展趋势。

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