《工艺特性对二维微加速度传感器性能的影响》PDF+DOC
作者：刘妤,温志渝
单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会
出版：《功能材料与器件学报》2008年第02期
页数：5页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFGNCQ2008020100
DOC编号：DOCGNCQ2008020109
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工艺特性在很大程度上决定了MEMS器件最终的功能特性。本文针对自主设计的二维微加速度传感器，在概念设计阶段定量分析了工艺特性对传感器性能的影响，主要包括质量偏心、梁加工误差、结构对称性、非平行效应等。结果表明：质量偏心会引起角位移变化，但对主轴刚度无影响，传感器不会有输出；在现有工艺条件下，可忽略梁厚误差的影响，但需严格控制梁宽误差；各种不对称方案对传感器主轴刚度和横向灵敏度的影响程度不同，不对称方案对横向灵敏度的影响随着不对称性的加剧而增大；非平行效应使得在相同外载荷作用下敏感轴向位移减小，但静态灵敏度却有所增加。
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