作者：马金元,张继军 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2008年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2008050020 DOC编号：DOCYBJS2008050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为满足接近距离的高精度测量要求，设计了一种采用圆柱谐振腔测量物体接近距离的新型传感器。给出了腔中E011谐振模的电磁场，导出了接近距离计算公式；讨论了谐振腔几何尺寸与工作频率之间的关系；建立了传感器系统模型。仿真结果表明精度达1μm.该传感器不受温度、湿度、尘埃等环境因素影响，允许多个传感器安装在一起而彼此互不影响。可用于摩擦搅拌焊接机器人、汽车轴承套内外间隙监测，厚度测量等领域。

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