作者：王阳,柯导明,陈军宁,郑长勇 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008120080 DOC编号：DOCCGJS2008120089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究一种与CMOS工艺兼容的梳状电极结构电容式传感器，对其敏感电容的变化量进行理论推导，建立了一种简单的解析模型，并使用Ansys软件仿真验证。利用该解析模型能够直观的分析各种参数变化对敏感电容变化量的影响，对芯片设计、制作及测试等具有参考意义。

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