作者:席彩红,刘肃 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2008年第04期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2008040240 DOC编号:DOCCGQJ2008040249 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为了分析CMOS SnO2气体传感器的工作,有必要建立合适的模型,采用晶粒边界的肖特基势垒模型和固体表面对气体的Freund lich等温吸附很好地解释了SnO2的电导与检测气体体积分数工作温度之间的关系,利用ANSYS 7.0对实际设计的传感器进行了热仿真,这便于在CMOS后加工工艺中很好地对其控制。

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