作者:王忆锋 单位:北京市海鹰科技情报研究所 出版:《飞航导弹》2008年第08期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFFHDD2008080220 DOC编号:DOCFHDD2008080229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了MEMS技术的原理及其设计与制造技术,重点介绍了导航级MEMS惯性传感器的发展和应用现状,最后阐明自主研发是我国导航级MEMS惯性传感器发展的唯一道路。

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