作者：葛宁 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2008年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2008080130 DOC编号：DOCDGZS2008080139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 版库装置是一些半导体设备的必要组件，版库装置的主要功能是：对放置于版库上的版盒进行检测，识别版盒中掩模版的存贮状况；锁定或解锁版盒；将指定版槽定位到版交接位置，从而对指定版槽进行放掩模版或取掩模版操作等。版库软件设计开发的目的就是为了实现上述功能。对版库软件的设计开发过程应用软件工程的方法。

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