《用于生物芯片的标准CMOS工艺光电传感器》PDF+DOC
作者:王为,刘楠,洪志良
单位:航天科技集团公司九院七七一所
出版:《微电子学与计算机》2008年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWXYJ2008050370
DOC编号:DOCWXYJ2008050379
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在分析光电二极管转化效率的基础上,分别使用nwell/psub光电二极管和p+/nwell光电二极管设计了有源像素单元.采用SMIC0.18μm工艺流片.测试结果显示使用nwell/psub二极管的有源像素单元对黄光的灵敏度是3.32V/lx.s,对绿光的灵敏度是2.79V/lx.s,使用p+/nwell二极管的有源像素单元对黄光灵敏度是0.69V/lx.s、对绿光的灵敏度是0.52V/lx.s。
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