《微机电系统在电子信息领域的应用》PDF+DOC
作者:陈勇华
单位:江苏省电子学会
出版:《信息化研究》2008年第11期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZGS2008110210
DOC编号:DOCDZGS2008110219
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借助于当代先进的大规模集成电路制造工艺,MEMS(微机电系统)技术将多种光、机、电功能器件集成于一体,真正实现了传统意义上的光机电一体化、微型化、数字化和智能化,在汽车工业、航空航天、消费电子等领域得到了越来越广泛的应用,实现了电子信息技术的新飞越。文中主要阐述MEMS在基础电子元器件、通信、汽车电子、消费电子等电子信息领域的发展应用。
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