作者:刘正坤,谭鑫,徐向东,洪义麟,付绍军 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》2008年第07期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM2008070040 DOC编号:DOCGXJM2008070049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于夫琅禾费衍射理论,推导了平行光入射变栅距光栅后衍射光强的角度分布。计算了变栅距光栅参数相同,入射光斑宽度分别为5 mm和10 mm时,衍射光的分布特点和变栅距光栅参数不同,入射光斑宽度为10 mm时,衍射光的分布特点。实验验证了不同入射光斑宽度对光纤式变栅距光栅位移传感器分辨率的影响。结果表明:基于变栅距光栅的衍射特点,入射光斑直径的大小是影响传感器分辨率的一个重要因素。

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