作者:郝鹏,吴一辉,庄须叶 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2008年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2008020070 DOC编号:DOCCGJS2008020079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对光纤SPR(表面等离子体共振)传感器制作工艺复杂的问题,提出了一种光纤先固定后部分镀膜的SPR传感芯片的制作方法。依据电磁场和射线理论,分析并讨论了此种波长调制部分镀膜SPR传感芯片的工作原理,采用MEMS制作工艺对探测光纤进行封装固定以后,再对光纤进行部分镀膜,其结构简单,工艺性好,易于实现批量化。最后,搭建了一套基于波长检测的光纤SPR测试系统对其进行测试。实验结果表明:在折射率范围为1.33~1.36时,共振波长同折射率具有良好的线性关系,光谱仪分辨率为0.1nm时,其分辨率可达到3×10-5折射率单位。

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