作者：周凤胜,徐兰英 单位：安徽电子信息职业技术学院;安徽省电子学会 出版：《安徽电子信息职业技术学院学报》2008年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFAHDJ2008010240 DOC编号：DOCAHDJ2008010249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本方案是在具有高精确度的CCD成像及检测技术基础上，利用单色性好的激光作为非接触式测量手段，使测量的精度极限直接由激光的波长来决定。同时，根据光的反射理论，通过数学的精确运算、推导，再考虑对CCD图象的数字化处理，以充分提高测量精度。而且，采用了磁场定位技术以及水平设定技术，可以减少测量误差。该方案的测量精度可以达到(10-1+10-7L)微米。

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