作者：刘锦 单位：中国机械工业联合会 出版：《机电产品开发与创新》2008年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJDCP2008040210 DOC编号：DOCJDCP2008040219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统技术作为新的技术领域，已经显示出强大的生命力。本文分析了微机电系统的内涵以及分类，指出了微机电系统的发展趋势和面临的主要挑战。

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