作者：刘丽,冯莹靓,于连香,王连元,张彤 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2008年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2008120180 DOC编号：DOCBDTX2008120189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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