作者：于光平,李延吉,冯英荐 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2008年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2008120000 DOC编号：DOCYBJS2008120009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了PSD(Position Sensitive Detector)传感器的结构及工作原理，设计了一种基于PSD的非接触精密位移测量系统。系统包括PSD传感器、控制系统和上位机3部分。对控制系统的硬件电路进行了详细介绍，控制系统以STC89C52RC单片机和具有24位转换精度的AD7714为核心。单片机通过AD7714采集PSD传感器的输出信号，再对采集到的位移信号分析处理后将数据打包通过RS-485接口传给上位机，位移值在上位机界面上显示出来，实现了对系统的远程控制和实时测量。系统的量程为-10~+10 mm，测量分辨率达到了1μm，测量精度较高。

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