作者:楼俊,付绍军,刘正坤,徐向东,何世平,李秉实,吴忠 单位:中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版:《光子学报》2007年第04期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGZXB2007040180 DOC编号:DOCGZXB2007040189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05mm,相对误差可以控制在0.2%FS之内,优于设计指标。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。