作者：王凌英,丁占来 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007120390 DOC编号：DOCCGQJ2007120399 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 将有机金属先驱体[Sn(N(CH3)2)2]2在适当的条件下热解，制备了尺寸分布集中的SnO2纳米颗粒。然后，在气体传感器的多晶硅层上原位沉积纳米颗粒悬浮液得到纳米颗粒多孔薄膜传感层，并探索了SnO2纳米颗粒传感器原位掺杂Mg，K，Ba元素，检测气体传感器在不同CO2体积分数下的敏感性。结果表明：此方法制得的传感器对CO2气体敏感性不佳，尚需进一步研究掺杂元素和掺杂工艺。

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