作者：李小换,张世名,邹其利,郭志萍 单位：中国航天科技集团公司第七O四研究所 出版：《遥测遥控》2007年第S1期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYCYK2007S10320 DOC编号：DOCYCYK2007S10329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点，但是由于受弹性体材料自身特性的影响，传感器的灵敏度温度误差大，大约在1.5&#215；10-4~2&#215；10-4/F.S℃，是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻，使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度，比在后续电路上进行温度补偿，温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明，采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件，灵敏度温度误差较小，可以控制在0.25&#215；10-4/F.S℃以下，传感器的温度性能得到了提高。

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