《基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜溶解二氧化碳传感器的研究》PDF+DOC
作者:岳钊,牛文成,谢林宏,权伍明,罗翀
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2007年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2007060000
DOC编号:DOCCGJS2007060009
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应用碳糊成膜方法,设计一种基于MISFET结构Pt-NiO混合敏感膜的新型溶解二氧化碳传感器.文中对器件进行了测量,给出了不同工作点下器件输出电压变化量△Vrs随着溶解二氧化碳浓度变化的响应曲线.实验结果表明,室温下基于MISFET结构的Pt-NiO混合敏感膜对溶解二氧化碳有很好的敏感性。
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