作者：王少华,李宏伟,欧进萍 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2007年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2007060310 DOC编号：DOCCGQJ2007060319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器的设计与实现。研究了无线加速度传感器的整体设计方案，给出了硬件电路设计和软件设计过程，并实现了原型产品的调试与制作。为验证原型产品的有效性，将其安装在实际桥梁上进行振动测试，给出了数据分析计算结果。

    📙 相关资料

    1. 《无线MEMS电容式加速度传感器在港口吊机动挠度测试中的应用》PDF+DOC 港口吊机抓斗运行时，横梁将产生动挠度。动挠度仪或涡流传感器可以直接测量物理位移，但需要固定的安装点，其使用环境受限。动挠度信号主要以低频为主，普通的直接安装在吊机梁上的传感器因不能测得低频信号而无法测量动挠度。为此，开发了一种基于电容式低频振动传感器的无线动挠度测试系统，相对目前其他动挠度测试仪器及......
    2. 《MEMS加速度传感器在强震观测中的应用》PDF+DOC 提出基于MEMS加速度传感器的强震仪设计方案，并在强震观测中完成了地震加速度数据的采集、触发判断和存储。...
    3. 《集成微电容式无线加速度传感器的设计应用探讨》PDF+DOC 介绍了一种基于MEMS技术制作的微电容式无线加速度传感器在大型建筑结构振动测试系统中的应用。...
    4. 《PCB~?/Endevco~?提供多种实验室使用的参考传感器》PDF+DOC 加速度传感器标定可以使用绝对法或比较法标定。比较常见的系统是使用背靠背比较法校准，这种校准系统需要一个参考传感器作为基准来计算被测传感器的参数。参考传感器是整个系统中非常关键的部件，它的特性将决定了被测传感器的测试参数的准确性及可靠性。常见的参考传感器有电荷加速度传感器，ICP誖/IEPE加速度传感......
    5. 《基于MMA3201KEG的MEMS加速度传感器研制与测试》PDF+DOC 基于飞思卡尔MMA3201KEG芯片设计了MEMS加速度传感器，对传感器原理、功能进行了详尽的描述，给出了设计电路图，封装完成后测试验证了该传感器可用性，并通过测试发现需要改进的部分。...
    6. 《与CMOS兼容的MEMS气压传感器工艺实现与性能分析》PDF+DOC 采用CMOS标准工艺，同时采用三种典型MEMS后处理关键工艺，重点通过对牺牲层释放工艺进行研究，制作实现了一种新型CMOS兼容的电容式气压传感器.在该传感器结构中，作为牺牲层的是在CMOS工艺中形成的掺硼氧化硅.通过释放使电容上电极悬空从而感应气压变化.释放过程采用氢氟酸HF、氟化铵、甘油和水的混合......
    7. 《轧机主传动齿轮箱振动传感器的选型分析》PDF+DOC 依据振动传感器的主要性能指标，对万能轧机主传动齿轮箱的振动特性和待测参数进行分析，最终选出适用于轧机主传动系统振动测量的传感器，并通过实际振动测试结果证明了传感器选型的准确性。...
    8. 《倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究》PDF+DOC 研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法，模拟机械振动台标定，提高标定效率和降低标定成本，并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm，厚度80μm，传感器自我标定以模拟幅值为1 g的振动台标定为例，针对DRIE工艺加工的高深宽比梳齿电容存在正负侧......
    9. 《硅MEMS加速度传感器教学实验平台构建》PDF+DOC 基于硅MEMS(micro-electromechanical systems)加速度传感器体积小(微米量级)、工作原理较抽象、课堂教学接受较困难等问题，构建了硅MEMS加速度传感器教学实验平台。该实验平台主要由加速度信号发生装置、高性能石英振梁加速度传感器、MEMS加速度传感器芯片、A/D转换电路......
    10. 《基于弯曲与组合MEMS传感器的数据手套设计》PDF+DOC 虚拟手作为一种自然、高效的人机交互方式，被广泛地应用在虚拟装配、远程手术、机器人控制及手语识别等多个领域。目前市场上多数数据手套只测量手部指关节角度变化情况，对手掌姿态角度测量较少，远不能满足市场对数据手套的需求。设计了基于弯曲与组合MEMS传感器的数据手套，不仅能测量手部指关节的弯曲程度，而且能测......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。