作者：种传波,李德胜,刘本东 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2007年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2007040140 DOC编号：DOCWXJS2007040149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了提高小量程微压力传感器的灵敏度，提出了一种新结构模型，通过理论分析，发现硅膜越薄，量程越小，灵敏度越高。并对此模型进行ANSYS应力仿真，发现在小量程负荷条件下，新结构模型应力峰值约为10.7 MPa，C型硅杯应力峰值为2.25 MPa，E型硅杯应力峰值为2.8 MPa，通过比较可以看出，优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性，验证了此模型的合理性。这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值。

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