《一体化结构三维加速度传感器的设计》PDF+DOC
作者：张新,费业泰
单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版：《传感器与微系统》2007年第04期
页数：3页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFCGQJ2007040230
DOC编号：DOCCGQJ2007040239
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设计了一种基于单惯性质量块的一体化结构三维加速度传感器。采用一种特殊结构的弹性体元件，实现了三维加速度量都利用剪切应变测量。利用有限元工具对传感器静态和动态特性进行了分析，给出了弹性体的应变分布、固有频率等。有限元分析计算和实验结果表明：所设计的传感器在3个正交方向上都有较高的灵敏度，各加速度分量互相干扰小。其交差灵敏度小于6.5%，非线性误差小于2%，固有频率大于1700Hz。
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