作者：郁红,刘肃 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007040060 DOC编号：DOCBDTQ2007040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试》PDF+DOC2006年第01期 高冬晖,秦明,程海洋,朱昊 《CMOS工艺实现的热风速传感器及其封装》PDF+DOC2005年第06期 孙建波,秦明,黄庆安 《硅热流量传感器封装的热模拟分析》PDF+DOC2005年第02期 高冬晖,秦明,黄庆安 《热线式传感器的研究》PDF+DOC2004年第05期 沈玉秀,唐祯安,张洪泉 《针对基于陶瓷衬底的风速传感器的热不对称特性补偿研究》PDF+DOC2011年第02期 董自强,秦明,黄庆安 《二维MEMS风速风向传感器的设计与测试》PDF+DOC2007年第Z1期 沈广平,吴剑,张骅,秦明,黄庆安 《波音737高功率引气压力低的原因分析》PDF+DOC2013年第02期 周本欣 《一种新型坦克射击固态风速传感器》PDF+DOC1997年第03期 宋胜宪,刘树勇 《加热器恒温控制系统》PDF+DOC1993年第03期 姜淑雄 《便携式工程机械动力传动性能测试系统的研制》PDF+DOC2002年第02期 韩军,徐刚,王彪,倪宏伟

    • 给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制方式，建立各自的一维传感器热学模型，并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN141分析和比较了不同控制条件下传感器的热性能及其和传感器特征尺寸的关系。最后，通过试验结果验证了模拟的正确性。

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