《基于MEMS加速度微传感器制作工艺及测试》PDF+DOC
作者:郑志霞,薛建国,陈军
单位:莆田学院
出版:《莆田学院学报》2007年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFPTGZ2007050190
DOC编号:DOCPTGZ2007050199
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介绍了基于MEMS技术的微型加速度传感器的原理、制作工艺、测试电路及测试结果。设计原理是把加速度变化转换为传感器的电容变化,制作上以硅-玻璃键合技术、玻璃和质量块的腐蚀工艺以及等离子刻蚀技术(ICP)为主要的工艺过程。传感器的测试采用方波为激励信号,采用CMOS电路来提高测量电容的灵敏度。结果表明,该传感器性能稳定、线性范围广、灵敏度高。
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