作者:郑志霞,薛建国,陈军 单位:莆田学院 出版:《莆田学院学报》2007年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFPTGZ2007050190 DOC编号:DOCPTGZ2007050199 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了基于MEMS技术的微型加速度传感器的原理、制作工艺、测试电路及测试结果。设计原理是把加速度变化转换为传感器的电容变化,制作上以硅-玻璃键合技术、玻璃和质量块的腐蚀工艺以及等离子刻蚀技术(ICP)为主要的工艺过程。传感器的测试采用方波为激励信号,采用CMOS电路来提高测量电容的灵敏度。结果表明,该传感器性能稳定、线性范围广、灵敏度高。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。