作者：习锋杰,许晓军,王铁志,姜宗福 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2007年第02期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2007020360 DOC编号：DOCGXXB2007020369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研制了一套相位光栅型波前曲率传感器。实验结果表明，相位型散焦光栅能消除零级衍射光的干扰，正负一级衍射光的衍射效率达到49%。用相差板引进波前畸变，进行了波前测量实验。用格林函数算法进行了波前恢复，并和Veeco检测结果进行了比较。制备的光栅型波前曲率传感器测量结果正确，峰谷值存在10%的误差，均方根值存在2%的误差。

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