作者：郑晓虎,朱荻 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2007年第18期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2007180040 DOC编号：DOCZGJX2007180049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种用于检测微位移的新型电涡流传感器。该传感器中，两层微平面线圈叠加在坡莫合金铁芯上，分别作为驱动元件与敏感元件。详细给出了微平面线圈的SU-8胶UV-LIGA工艺与磁性铁芯的电铸成形工艺。当激励电流为50kHz的正弦交流信号，而且检测Ni-Fe片与铁芯间隙为10μm时，敏感线圈的输出电压达30mV，并且间隙值在50μm范围内与输出电压接近为线性关系。传感器尺寸为5mm&#215；1.6mm，易于集成，能实现对微位移的检测。

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