作者：刘力双,吕乃光,孙双花,王宝光 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2007年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2007070440 DOC编号：DOCCGJS2007070449 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 精密光学系统的安装精度要求非常高，必须经过严格检测.提出了一种基于电容传感器的非接触平面高度差检测方法.以精密电容传感器为核心，利用多传感器的相对测量，减小了漂移的影响，实现了高精度测量；通过使用标准厚度块，增大了测量的量程和使用范围.文中对测量的原理和精度进行了分析，经鉴定，该方法测量精度达到2μm。

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