作者:王军波,吴旻宪,崔铮,崔占峰 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2007Z11010 DOC编号:DOCBDTQ2007Z11019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 以生物微反应器中培养液pH在线监测为目标,研制出一种基于光度吸收原理的阵列光纤传感器。利用MEMS加工工艺,制备出传感器的阵列吸光池芯片,采用光学软件对吸光池进行优化设计,提高了传感器光传输效率,并通过CFD软件进行流体模拟,优化吸光池结构,降低了溶液死体积,缩短传感器响应时间。实验结果表明,所研究的传感器阵列检测灵敏度为0.83V/pH,响应速度快,可用于多个生物微反应器的pH在线监测。

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