作者：王新,余晓芬 单位：冶金自动化研究院 出版：《工业计量》2007年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYJL2007030000 DOC编号：DOCGYJL2007030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 应变式传感器由于自身具有的灵敏度、测量精度和可靠性高、动态响应快、抗干扰性强等特性，已经在很多领域广泛应用。文章中设计的三维位移振动传感器采用的是半导体应变式，在机械结构上架构了测量三维振动的空间体系，其对称型机构能消除部分误差，主要应用在测量微振动和低频振动上，而且在微型化方面取得了很大的进步。

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