作者:陈健,陈德勇,王军波 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2007年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2007030080 DOC编号:DOCCGJS2007030089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz/g。

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