作者：刘成刚 单位：济南教育学院 出版：《济南职业学院学报》2007年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXX2007010250 DOC编号：DOCJLXX2007010259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微机械技术发展现状》PDF+DOC1997年第06期 才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英 《微电子机械系统技术应用研究》PDF+DOC2003年第07期 闫利文 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《MEMS概况及发展趋势》PDF+DOC2002年第01期 张威,张大成,王阳元 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫

    • 介绍了MEMS的基本概念、系统结构、技术特点，并结合MEMS的发展史和制造技术，对MEMS的应用领域作了阐述。

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