作者：曲昊,彭倍,彭鹏,周吴,于慧君 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2018年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2018060040 DOC编号：DOCYBJS2018060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型，分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次，根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况，以及寄生电容对电容检测结果的影响。最后，通过实验验证理论分析的结果。

    📙 相关资料

    1. 《梳齿式电容加速度传感器等效并联电阻对器件输出产生的影响（英文）》PDF+DOC 梳齿式电容加速度传感器检测电容的测量结果会受到除感应电容之外的其他等效电路参数的影响。梳齿式电容加速度传感器的结构与多层瓷片电容(MLCC)的结构类似，因此可以借鉴多层瓷片电容中等效电路参数的研究方法对电容加速度传感器中的等效电路参数进行研究。本文将对梳齿式电容加速度传感器检测结构中的等效电路参数进......
    2. 《梳齿式结构电容式加速度传感器设计》PDF+DOC 选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计，阐述其优势和原理，并选用相匹配的传输电路，同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。...
    3. 《MEMS谐振式加速度计技术发展的研究》PDF+DOC 目的深入了解谐振式加速度计研究过程中的关键技术问题，为后续的研究工作和实践应用提供指导。方法通过收集大量资料及数据分析，论述MEMS谐振式加速度计的国内外技术研究现状，归纳并探讨其在研究中所面临的关键技术问题。结果与结论针对MEMS谐振式加速度计的激励与检测电路、工艺误差和封装技术等关键技术，提出了......
    4. 《全新6英寸MEMS生产线落成美泰科技迈向国际一流MEMS企业》PDF+DOC 据麦姆斯咨询报道，近日，美泰电子科技有限公司(以下简称：美泰科技)顺利完成全新6英寸MEMS生产线的建设。这条全球领先的生产线将有助于降低MEMS产品生产成本，同时还会加快现有MEMS应用的普及，以及创新MEMS市场的开发。该MEMS生产线位于河北石家庄市鹿泉区信息产业园，采用全新的厂房设计和先进的......
    5. 《运算放大器频率特性对加速度传感器检测电路的影响分析》PDF+DOC 为分析运算放大器频率特性对加速度传感器检测电路实际性能产生的影响，提出了一种分析电路参数对运算放大器实际性能产生影响的研究方法。本研究建立了加速度传感器检测电路等效模型，分析了电路参数对运算放大器频率特性产生的影响。为验证理论分析，文中根据运算放大器的具体参数，选择合适的电路参数，设计了一个用于加速......
    6. 《气流式加速度传感器的敏感机理》PDF+DOC 介绍了在研制气流式加速度传感器过程中，为对气流式加速度传感器进行建模，作者对气流式加速度传感器的工作机理进行了理论性探讨。在分析过程中以流体力学、传热学和惯性理论为基础并结合实验结果，建立了适合于气流式加速度传感器的气体运动方程和能量方程。同时还讨论了热线测量加速度的方法及根据实验分析了输入加速度对......
    7. 《不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器》PDF+DOC 利用ICP体硅深加工，本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式，垂直方向采用不等高对称梳齿式；对称的布局方式，解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟，证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0......
    8. 《MEMS器件常用微弱信号检测技术研究》PDF+DOC 文章针对微机械(MEMS)器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。...
    9. 《一种基于CAV424的原油含水率检测电路设计》PDF+DOC 电容法作为原油含水率检测方法，其调理电路往往受到寄生电容和环境变化的影响而难以实现高精度测量。设计了一种基于CAV424的电容式传感器原油含水率检测电路。实验表明：利用该检测电路测量原油含水率与蒸馏水法测量值的差值在5%以内，具有测量准确度高、测量速度快、显示直观、安装使用简单、价格低廉、操作方便的......
    10. 《石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究》PDF+DOC 针对石油勘探的应用需求，分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源，并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果，采取多种措施进行了改进，振动测试结果表明：传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2，进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。