作者：牛君,刘云桥 单位：北京国际科技服务中心 出版：《科技资讯》2007年第23期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZXLJ2007230020 DOC编号：DOCZXLJ2007230029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机电系统(MEMS)的应用》PDF+DOC1999年第01期 徐毓龙,徐玉成 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《崭新的微机电系统(MEMS)技术》PDF+DOC1999年第09期 徐毓龙,徐玉成 《微机电系统的研究与分析》PDF+DOC2004年第01期 沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军 《微机电系统的进展分析与研究》PDF+DOC2002年第01期 刘晓斌 《MEMS的微粒污染和失效分析》PDF+DOC2002年第01期 吴健 《微机电系统(MEMS)技术及其应用》PDF+DOC2002年第06期 魏强 《微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺》PDF+DOC2012年第10期 胥震,欧阳清,施冠羽,易定和 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC2011年第08期 杨永生 《浅论MEMS技术发展趋势与应用》PDF+DOC2010年第35期 张勇,张剑,熊国宏

    • MEMS是微机电系统的简称，是多种学科交叉融合的前沿高技术，是未来的主导产业之一，将对21世纪人类的科学技术、生产方式和生活方式产生深远的影响。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、以及主要应用。

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