作者：邱显涛,陈吉安 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2006年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2006010110 DOC编号：DOCWXJS2006010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于微悬臂梁结构的布拉格光栅氢气传感器，阐述了该类型传感器的工作原理及制作工艺流程，并利用MEMS技术制作了传感器样品，同时在-60℃~90℃、氢气浓度为0.5%~10%范围内对该传感器样品进行了测试。结果表明，在环境温度为25℃、氢气浓度为4%的情况下，当测试时间为30 min时，反射波长改变量可达0.15 nm；在10 s的快速反应测试中，反射波长改变量可达0.003 5 nm，能够满足实际应用要求。

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