作者:张兆华,刘兵武,张艳红,谭智敏,林惠旺,刘理天 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006051330 DOC编号:DOCCGJS2006051339 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出。

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